一种时空域调制光栅位移传感方法与测量系统
文献类型：专利
| 作者 | 叶国永; 刘红忠; 刘辉 ; 李烜; 雷彪; 牛东
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| 发表日期 | 2019-06-21 |
| 专利号 | CN109916314A |
| 著作权人 | 西安交通大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种时空域调制光栅位移传感方法与测量系统 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种时空域调制光栅位移传感方法与测量系统，光栅输出信号为时空域传感信号，在时域对时空域传感信号进行位移解调。测量系统包括传感光路、电压调制电路、位移解调电路等，其具体实现方式为：以纳米光栅为测量基准，采用衍射光干涉的对称传感光路设计，实现空域传感信号光学倍频和环境干扰抑制；以周期调制性电压驱动激光二极管，结合介质组件，对空域传感信号施加时域调制，生成时空域传感信号；通过时空域传感信号的时域高频脉冲细分实现位移解调，避免复杂电细分的低响应性和传感信号波形误差引入的细分误差。本发明具有高分辨力、高精度、高频响等优势，为皮米分辨力、纳米精度光栅位移测量提供了新方法。 |
| 公开日期 | 2019-06-21 |
| 申请日期 | 2019-04-29 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55334]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶国永,刘红忠,刘辉,等. 一种时空域调制光栅位移传感方法与测量系统. CN109916314A. 2019-06-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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