石墨烯-介质DBR单模垂直腔面发射激光器及其制备方法
文献类型:专利
作者 | 关宝璐; 王志鹏; 张峰 |
发表日期 | 2019-07-23 |
专利号 | CN110048305A |
著作权人 | 北京工业大学 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 石墨烯-介质DBR单模垂直腔面发射激光器及其制备方法 |
英文摘要 | 石墨烯‑介质DBR单模垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及半导体激光器和石墨烯领域。本发明的结构通过多片集成的方式获得,half‑VCSEL、石墨烯和上DBR分别进行制备,half‑VCSEL制备完成后在其上面转移石墨烯,最后得到具有曲率的上DBR部分,形成完整的VCSEL结构。将横向光场限制在顶部,增加了高阶模损失和阈值增益,从而产生高质量的单模,同时降低了器件的接触电阻。 |
公开日期 | 2019-07-23 |
申请日期 | 2019-04-19 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55396] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 北京工业大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 关宝璐,王志鹏,张峰. 石墨烯-介质DBR单模垂直腔面发射激光器及其制备方法. CN110048305A. 2019-07-23. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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