一种自动激光聚焦形貌测量系统
文献类型：专利
| 作者 | 张效栋; 武光创; 朱琳琳; 房丰洲 |
| 发表日期 | 2019-07-26 |
| 专利号 | CN110057313A |
| 著作权人 | 天津大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种自动激光聚焦形貌测量系统 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种自动激光聚焦形貌测量系统，用以对置于纳米三维位移机构上的测试工件的形貌进行测量，包括四象限探测器、柱面镜、非偏振分束立方体、衍射光栅、半导体激光二极管、压电陶瓷纳米位移器、显微物镜、纳米三维位移机构、信号调理电路、AD数据采集卡、工控机、压电陶瓷纳米位移器控制器和纳米三维位移台机构控制器；四象限探测器获取的聚焦误差信号输入到工控机；工控机通过分析聚焦误差信号利用压电陶瓷纳米位移器控制器控制压电陶瓷纳米位移器带动显微物镜在测试工件表面做垂直扫描，保证测试工件表面处于光路的聚焦位置，在连续测量过程中，获得测试工件的三维形貌。 |
| 公开日期 | 2019-07-26 |
| 申请日期 | 2019-03-21 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55406]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 天津大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张效栋,武光创,朱琳琳,等. 一种自动激光聚焦形貌测量系统. CN110057313A. 2019-07-26. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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