基于亚波长光栅波导的高光束质量垂直腔面激光器阵列与制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 关宝璐; 黎豪 |
| 发表日期 | 2019-09-27 |
| 专利号 | CN110289552A |
| 著作权人 | 北京工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于亚波长光栅波导的高光束质量垂直腔面激光器阵列与制备方法 |
| 英文摘要 | 基于亚波长光栅波导的高光束质量垂直腔面激光器阵列与制备方法，属于垂直腔面激光器领域。正电极(1)、亚波长光栅(3)、光波导(2)、上布拉格反射镜(5)、离子注入电流限制层(4)、量子阱有源区(9)、下布拉格反射镜(6)、有源区缓冲层(7)、衬底(8)、负电极(10)构成；在VCSEL阵列出光口制作一层亚波长光栅，并且在光栅下方制备了光波导层，或将光栅嵌入到光波导层，利用亚波长光栅将光子部分导入光波导层，利用光波导层对阵列的各个器件进行耦合，保证大功率输出功率的同时获得较高光束质量。 |
| 公开日期 | 2019-09-27 |
| 申请日期 | 2019-06-26 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55556]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 关宝璐,黎豪. 基于亚波长光栅波导的高光束质量垂直腔面激光器阵列与制备方法. CN110289552A. 2019-09-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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