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微透镜阵列及其制造方法

文献类型:专利

作者中嶋敏博
发表日期2004-05-19
专利号CN1497282A
著作权人雅马哈株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名微透镜阵列及其制造方法
英文摘要一种微透镜阵列,具有石英基板和电镀金属制成并安装在基板上的耦合板。在该基板的一个主表面上,形成透镜和由电镀金属制成的装配销。耦合板具有允许来自透镜的光透过的透明窗口和从一个主表面朝向另一主表面逐渐增大尺寸的导销插入孔。可通过在基板上形成电镀种层和电镀区域限定导柱而形成电镀层限定的各导销插入孔开口端的锥形形状,电镀种层与导柱间隔预定距离。
公开日期2004-05-19
申请日期2003-10-04
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55621]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位雅马哈株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
中嶋敏博. 微透镜阵列及其制造方法. CN1497282A. 2004-05-19.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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