微透镜阵列及其制造方法
文献类型:专利
作者 | 中嶋敏博 |
发表日期 | 2004-05-19 |
专利号 | CN1497282A |
著作权人 | 雅马哈株式会社 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 微透镜阵列及其制造方法 |
英文摘要 | 一种微透镜阵列,具有石英基板和电镀金属制成并安装在基板上的耦合板。在该基板的一个主表面上,形成透镜和由电镀金属制成的装配销。耦合板具有允许来自透镜的光透过的透明窗口和从一个主表面朝向另一主表面逐渐增大尺寸的导销插入孔。可通过在基板上形成电镀种层和电镀区域限定导柱而形成电镀层限定的各导销插入孔开口端的锥形形状,电镀种层与导柱间隔预定距离。 |
公开日期 | 2004-05-19 |
申请日期 | 2003-10-04 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55621] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 雅马哈株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 中嶋敏博. 微透镜阵列及其制造方法. CN1497282A. 2004-05-19. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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