光栅耦合器及其封装结构
文献类型：专利
| 作者 | 冯俊波; 李群庆; 范守善 |
| 发表日期 | 2010-12-15 |
| 专利号 | CN101915965A |
| 著作权人 | 清华大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光栅耦合器及其封装结构 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种高性能、低成本、易封装的光栅耦合器，包括反射层、隔离层、波导层、下包层、衬底层，所述下包层、波导层、隔离层、反射层依次设置于衬底层上，波导层设置有光栅，衬底层设置有光纤对准槽。本发明所提供的光栅耦合器的封装结构为纳米波导器件提供了一种高效的封装方案，降低了工艺难度，提高了大规模封装集成的可行性。 |
| 公开日期 | 2010-12-15 |
| 申请日期 | 2010-08-23 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55805]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯俊波,李群庆,范守善. 光栅耦合器及其封装结构. CN101915965A. 2010-12-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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