在激光退火系统中用于控制边缘轮廓的定制光瞳光阑形状
文献类型：专利
| 作者 | 道格拉斯·E·霍姆格伦 |
| 发表日期 | 2017-12-15 |
| 专利号 | CN107479203A |
| 著作权人 | 应用材料公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 在激光退火系统中用于控制边缘轮廓的定制光瞳光阑形状 |
| 英文摘要 | 本发明的实施方式一般涉及具有用于将图案成像于基板上的光学元件的激光退火系统。光学元件可包含将图像整形以暴露于基板的表面上的多个孔或一个孔。该图像可由光学元件系统内的孔的形状加以确定。 |
| 公开日期 | 2017-12-15 |
| 申请日期 | 2013-12-18 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55978]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 道格拉斯·E·霍姆格伦. 在激光退火系统中用于控制边缘轮廓的定制光瞳光阑形状. CN107479203A. 2017-12-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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