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p型AlGaN系半導体の製造方法

文献类型:专利

作者渡部 信一; 岡川 広明; 只友 一行
发表日期1996-01-12
专利号JP1996008460A
著作权人三菱電線工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名p型AlGaN系半導体の製造方法
英文摘要【目的】 アニーリング処理や電子線処理の必要なく低抵抗のp型GaN系半導体を形成できて、その製造効率に優れる方法を得ること。 【構成】 サファイア又は窒化ガリウムからなる基板(1)上に、n型GaN系半導体層(2)を介して、p型不純物をドープした、一般式:AlxGa1-xN(ただし、0
公开日期1996-01-12
申请日期1994-06-22
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56265]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電線工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
渡部 信一,岡川 広明,只友 一行. p型AlGaN系半導体の製造方法. JP1996008460A. 1996-01-12.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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