面発光レーザ作製用酸化装置
文献类型：专利
| 作者 | 禅野 由明; 梅本 真哉; 山本 高稔 |
| 发表日期 | 2006-02-09 |
| 专利号 | JP2006040943A |
| 著作权人 | 株式会社エピクエスト |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 面発光レーザ作製用酸化装置 |
| 英文摘要 | (修正有) 【課題】面発光型レーザのメサに成形した部分のAlAs層を周囲から酸化し周囲部分をAlxOyにする装置であって酸化距離を正確に制御できるようにすること。 【解決手段】抵抗加熱ヒータを内蔵する加熱ステージ7に3本以上の昇降自在のピン36を設け、酸化終了時にはヒータ加熱および水蒸気含有ガス供給を停止し、ピン36を押し上げて基板ホルダー6を持ち上げ、加熱ステージ7から基板ホルダー6を切り離し熱容量を小さくしてパージガス48を吹き付けて水蒸気を追い払って冷却し酸化の進行を直ちに停止させる。 【選択図】図11 |
| 公开日期 | 2006-02-09 |
| 申请日期 | 2004-07-22 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56377]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社エピクエスト |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 禅野 由明,梅本 真哉,山本 高稔. 面発光レーザ作製用酸化装置. JP2006040943A. 2006-02-09. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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