中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
脉冲宽度控制器

文献类型:专利

作者西奥多·P·莫菲特
发表日期2017-12-08
专利号CN107450189A
著作权人应用材料公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名脉冲宽度控制器
英文摘要本文揭示一种用于热处理系统的脉冲宽度控制器。脉冲电磁辐射被引导穿过转动式波片至偏振分束器,所述偏振分束器根据所述波片的相角而反射及透射。通过所述偏振分束器透射的辐射被引导至光路,所述光路经渡越时间后使所述辐射返回所述偏振分束器。第二转动式波片定位于所述光路中。所述偏振分束器根据所述第二转动式波片的相角反射及透射返回的辐射。第二脉冲宽度控制器可嵌套于所述光路中,且所述光路可嵌套任何数量的脉冲宽度控制器。
公开日期2017-12-08
申请日期2013-09-18
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56445]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位应用材料公司
推荐引用方式
GB/T 7714
西奥多·P·莫菲特. 脉冲宽度控制器. CN107450189A. 2017-12-08.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。