脉冲宽度控制器
文献类型:专利
作者 | 西奥多·P·莫菲特 |
发表日期 | 2017-12-08 |
专利号 | CN107450189A |
著作权人 | 应用材料公司 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 脉冲宽度控制器 |
英文摘要 | 本文揭示一种用于热处理系统的脉冲宽度控制器。脉冲电磁辐射被引导穿过转动式波片至偏振分束器,所述偏振分束器根据所述波片的相角而反射及透射。通过所述偏振分束器透射的辐射被引导至光路,所述光路经渡越时间后使所述辐射返回所述偏振分束器。第二转动式波片定位于所述光路中。所述偏振分束器根据所述第二转动式波片的相角反射及透射返回的辐射。第二脉冲宽度控制器可嵌套于所述光路中,且所述光路可嵌套任何数量的脉冲宽度控制器。 |
公开日期 | 2017-12-08 |
申请日期 | 2013-09-18 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56445] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 应用材料公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 西奥多·P·莫菲特. 脉冲宽度控制器. CN107450189A. 2017-12-08. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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