一种微纳米激光二极管的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 徐春祥; 朱刚毅; 戴俊; 林毅; 石增良; 理记涛 |
| 发表日期 | 2012-07-11 |
| 专利号 | CN102570304A |
| 著作权人 | 东南大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种微纳米激光二极管的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种微纳米激光二极管的制备方法，该方法首先在P型氮化镓(GaN)薄膜表面旋涂一层P型聚合物半导体薄膜，如聚乙烯基咔唑(PVK)、聚芴（PF）、聚对苯乙烯撑(PPV)、聚-3烷基噻吩(P3HT)及其衍生物等P型半导体聚合物，然后将单根氧化锌(ZnO)微米棒集成在旋涂p型半导体聚合物的p型GaN薄膜表面形成异质结，然后在集成有ZnO微米棒的p型GaN表面制备一层绝缘薄膜（如：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)，聚二甲基硅氧烷(PDMS),二氧化硅(SiO2),三氧化二铝(Al2O3)等有机或者无机透明绝缘材料），接着采用反应离子刻蚀或者光刻技术把ZnO微米棒表面刻蚀出来，最后分别在GaN和ZnO微米棒表面制备具有欧姆接触的金属电极，构成完整的器件。 |
| 公开日期 | 2012-07-11 |
| 申请日期 | 2012-01-17 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56537]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东南大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐春祥,朱刚毅,戴俊,等. 一种微纳米激光二极管的制备方法. CN102570304A. 2012-07-11. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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