一种GaN基半导体激光芯片检测装置与方法
文献类型：专利
| 作者 | 尧舜; 郎陆广; 兰天; 周广正; 吕朝晨; 于洪岩; 王智勇 |
| 发表日期 | 2018-07-24 |
| 专利号 | CN108318800A |
| 著作权人 | 北京工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种GaN基半导体激光芯片检测装置与方法 |
| 英文摘要 | 本发明实施例提供了一种GaN基半导体激光芯片检测装置及方法，所述装置包括：芯片装载模块、电源模块、显微成像模块和激光打标模块；通过电源模块为待检测芯片施加一定的电流使待检测芯片从p面和前腔面分别发出两束荧光，显微成像模块接收这两束荧光后对待检测芯片的p面和前腔面进行荧光成像，并判断待检测芯片的有源区是否存在失效区域、前腔面是否有灾变性光学损伤点，最后再通过激光打标模块对待检测芯片的有源区的失效区域正上方的p面进行打标以便后续处理。所述装置结构简单，且能够实现对待检测芯片的有源区的失效区域的正上方的p面区域打标，以此来定位失效区域在有源区中的位置，功能更加丰富，具有更好的实用价值。 |
| 公开日期 | 2018-07-24 |
| 申请日期 | 2017-12-30 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56886]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尧舜,郎陆广,兰天,等. 一种GaN基半导体激光芯片检测装置与方法. CN108318800A. 2018-07-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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