一种输出空心光束的激光器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 韩峰; 张祥伟; 吴玲玲; 陶禹; 郭荣礼 ; 刘宝元; 陈靖; 聂亮
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| 发表日期 | 2018-10-16 |
| 专利号 | CN108666867A |
| 著作权人 | 西安工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种输出空心光束的激光器及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种输出空心光束的激光器及其制作方法，该激光器包括由下至上依次布设的半导体衬底、缓冲层、N型分布式布拉格反射镜层、有源区、第一高铝层、电流引导层、第二高铝层和P型分布式布拉格反射镜层，所述第一高铝层的圆周边缘设置有第一氧化限制层，所述第二高铝层的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层和P面电极；该方法包括以下步骤：一、半导体激光器芯片的生长；二、氧化限制层的制作；三、P面电极制作；四、刻蚀孔的形成；五、N面电极的制作。本发明结构简单、设计合理且体积小，使得电流载流子汇集在有源区的圆周边缘，实现空心光束的输出，不要安装其他的光学器件，实用性强。 |
| 公开日期 | 2018-10-16 |
| 申请日期 | 2018-07-31 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57048]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 西安工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩峰,张祥伟,吴玲玲,等. 一种输出空心光束的激光器及其制作方法. CN108666867A. 2018-10-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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