一种水平结构VCSEL芯片及其制作方法和激光装置
文献类型：专利
| 作者 | 贾钊; 赵炆兼; 马祥柱; 张国庆; 陈凯轩 |
| 发表日期 | 2018-11-23 |
| 专利号 | CN108879326A |
| 著作权人 | 扬州乾照光电有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种水平结构VCSEL芯片及其制作方法和激光装置 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种水平结构VCSEL芯片及其制作方法和激光装置，在降低水平结构VCSEL芯片制作难度的同时，将其第一电极和第二电极位于同侧，使得第一电极和第二电极之间电流仅需要在下DBR层背离衬底一侧表面和上DBR层朝向衬底一侧表面流动即可，而电流无需穿过下DBR层和上DBR层，降低了第一电极和第二电极之间电阻；此外，水平结构VCSEL芯片有利于芯片的散热，提高芯片性能。 |
| 公开日期 | 2018-11-23 |
| 申请日期 | 2018-07-06 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57150]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 扬州乾照光电有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾钊,赵炆兼,马祥柱,等. 一种水平结构VCSEL芯片及其制作方法和激光装置. CN108879326A. 2018-11-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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