一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器
文献类型：专利
| 作者 | 邹永刚; 裴丽娜; 李岩; 石琳琳; 金亮; 马晓辉; 王小龙 |
| 发表日期 | 2018-11-23 |
| 专利号 | CN108879327A |
| 著作权人 | 长春理工大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种低应力微机电系统，从下到上包括有衬底电极层(1)、n型衬底(2)、下分布反馈布拉格反射镜(100)、有源区(5)、电流限制层(6)、P型欧姆接触层(7)、绝缘层(8)、注入电极层(9)、中空结构牺牲层(10)、上分布反馈布拉格反射镜(200)、调谐电极(13)。所述的低应力微机电系统悬臂结构(300)为低应力蝴蝶结状MEMS悬臂结构。本发明还相应公开了上述低应力微机电系统的制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器。低应力微机电系统悬臂结构的可调谐垂直腔面发射激光器，达到降低器件固定端应力，提高器件可靠性的目的。 |
| 公开日期 | 2018-11-23 |
| 申请日期 | 2018-07-17 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57151]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 长春理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹永刚,裴丽娜,李岩,等. 一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器. CN108879327A. 2018-11-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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