一种光通信波段低发散角DFB半导体激光器的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 薛正群; 苏辉; 黄章挺; 邓仁亮; 李敬波 |
| 发表日期 | 2018-12-07 |
| 专利号 | CN108963754A |
| 著作权人 | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种光通信波段低发散角DFB半导体激光器的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种光通信波段低发散角DFB半导体激光器的制备方法，首先在N‑InP衬底上外延生长增益区；表面沉积SiO2介质层，光刻形成光场扩展结构选择生长区域，湿法腐蚀选择生长区域至衬底层；在生长增益区制备均匀布拉格光栅，腐蚀形成光栅，生长光栅覆盖层；上沉积SiO2介质层，光刻形成脊型结构，并采用溴素系腐蚀液腐蚀形成脊波导结构，脊波导在增益区域为直波导，在光场扩展区域为锥形波导；采用MOCVD完成外延生长，并进行后续激光器制备工艺：阻挡层再生长、最后生长；双沟槽制作，脊型开孔，蒸镀P面金属、减薄、蒸镀N面金属，氮气氛围中合金，解离，蒸镀端面光学膜，完成激光器芯片的制备。本发明降低激光器芯片发散角，提高器件至单模光纤的耦合效率。 |
| 公开日期 | 2018-12-07 |
| 申请日期 | 2018-07-02 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57185]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛正群,苏辉,黄章挺,等. 一种光通信波段低发散角DFB半导体激光器的制备方法. CN108963754A. 2018-12-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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