集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及制作工艺
文献类型：专利
| 作者 | 黄堃; 马宗敏; 程林; 曹丽琴; 傅月平; 郑斗斗 |
| 发表日期 | 2018-12-11 |
| 专利号 | CN108983121A |
| 著作权人 | 中北大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及制作工艺 |
| 英文摘要 | 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及其制作工艺，本发明将制备有NV色心系综的块状金刚石片进行磨边整形得到梯台状金刚石，随后通过薄膜生长工艺在金刚石上表面制备出多层介质组合的反射膜，并且在底部制备多层介质组合的截止滤波膜，两种光学功能膜包裹金刚石介质形成一个陷光结构，最后，在这个金刚石为主体的陷光结构上制备出环形微波天线，开凿通光孔，微组装激光二极管和光电二极管，实现集成的NV磁强计，本发明开创性的以金刚石为核心集成设计总体陷光腔结构和系统调制光子收集各功能部件，能够最大化提高固态原子磁强计灵敏度和减小器件体积。 |
| 公开日期 | 2018-12-11 |
| 申请日期 | 2018-06-06 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57197]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中北大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄堃,马宗敏,程林,等. 集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及制作工艺. CN108983121A. 2018-12-11. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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