光束照射装置以及位置检测装置
文献类型：专利
| 作者 | 前纳良昭; 山口淳 |
| 发表日期 | 2010-09-15 |
| 专利号 | CN101833167A |
| 著作权人 | 三洋电机株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光束照射装置以及位置检测装置 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种光束照射装置，由简单的结构能够精度良好地检测目标区域的激光的扫描位置。在光束照射装置中，从激光光源射出的激光入射至反射镜。执行器通过使激光入射的反射镜转动在目标区域扫描激光。另一方面，从半导体激光器(303)射出的伺服光入射至全息元件(200)。全息元件(200)随着反射镜的转动而进行转动，并在出射面设定衍射图案。光检测器(309)对透过全息元件(200)之后的伺服光进行接收，输出对应于该接收位置的信号。这样，由于入射至光检测器(309)的伺服光的扫描宽度变宽，因此可精度良好地检测光检测器(309)上的伺服光的接收位置。其结果，也能精度良好地检测目标区域的激光的扫描位置。 |
| 公开日期 | 2010-09-15 |
| 申请日期 | 2010-03-08 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57218]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三洋电机株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 前纳良昭,山口淳. 光束照射装置以及位置检测装置. CN101833167A. 2010-09-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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