一种模块化的真空紫外激光装置
文献类型：专利
| 作者 | 段绍峰; 杨媛媛; 唐天威; 周超成; 张文涛 |
| 发表日期 | 2019-05-31 |
| 专利号 | CN109830884A |
| 著作权人 | 上海交通大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种模块化的真空紫外激光装置 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种模块化的真空紫外激光装置，涉及真空紫外激光领域，包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构；所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元，所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上，所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接，形成光的传输通道。本发明的真空紫外激光装置，具有设计简洁、可扩展性强、操作方便、成本低的优点。 |
| 公开日期 | 2019-05-31 |
| 申请日期 | 2019-03-28 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57982]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 上海交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段绍峰,杨媛媛,唐天威,等. 一种模块化的真空紫外激光装置. CN109830884A. 2019-05-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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