Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers
文献类型：专利
| 作者 | GOVORKOV, SERGEI, V.; AUSTIN, R., RUSSEL; FERBER, JOERG |
| 发表日期 | 2008-01-24 |
| 专利号 | WO2008010956A1 |
| 著作权人 | COHERENT, INC. |
| 国家 | 世界知识产权组织 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers |
| 英文摘要 | An amorphous silicon layer on a glass substrate is crystallized by concentrating CW radiation from a number of OPS-lasers into a line of light on the layer. The layer is moved with respect to the line of light to control the dwell time of the line on any location on the layer and to crystallize an extended area of the layer. |
| 公开日期 | 2008-01-24 |
| 申请日期 | 2007-07-13 |
| 状态 | 未确认 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/58093]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | COHERENT, INC. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | GOVORKOV, SERGEI, V.,AUSTIN, R., RUSSEL,FERBER, JOERG. Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers. WO2008010956A1. 2008-01-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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