Laser device, laser system, and extreme ultraviolet light generation apparatus
文献类型：专利
| 作者 | NOWAK, KRZYSZTOF; MORIYA, MASATO; WAKABAYASHI, OSAMU |
| 发表日期 | 2012-01-19 |
| 专利号 | US20120012762A1 |
| 著作权人 | GIGAPHOTON INC. |
| 国家 | 美国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Laser device, laser system, and extreme ultraviolet light generation apparatus |
| 英文摘要 | A laser device may include: a diffraction grating; and a plurality of semiconductor lasers disposed such that laser beams outputted therefrom are incident on the diffraction grating and at least one of diffraction beams of each laser beam travels in a predetermined direction. |
| 公开日期 | 2012-01-19 |
| 申请日期 | 2011-03-02 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/58626]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | GIGAPHOTON INC. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | NOWAK, KRZYSZTOF,MORIYA, MASATO,WAKABAYASHI, OSAMU. Laser device, laser system, and extreme ultraviolet light generation apparatus. US20120012762A1. 2012-01-19. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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