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半導体レーザユニット及び半導体レーザ加工装置

文献类型:专利

作者千葉 宏一; 大門 正博; 山口 哲; 斉藤 吉正; 小林 哲郎
发表日期1994-08-19
专利号JP1994232508A
著作权人新日本製鐵株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザユニット及び半導体レーザ加工装置
英文摘要【目的】 被加工物の表面におけるレーザビームのスポット径を自由に調整することができるようにする。 【構成】 半導体レーザ加工装置は半導体レーザユニットを用い、半導体レーザユニットは出光ユニットAと集光ユニットBとからなる。出光ユニットAは主にアレイ半導体レーザ1と固体レーザ素子4とからなり、集光ユニットBは主に集光レンズ10とこれを光軸方向に移動させるレンズ移動手段11とからなる。アレイ半導体レーザ1から出光された複数のレーザビームは一つのビームにまとめられ固体レーザ素子4に入光され、固体レーザ素子4から出光された高出力の平行ビームは集光レンズ10によって収束され、XYテーブル22上のプリント基板30に照射される。レンズ移動手段11による集光レンズ10の上下移動によって、プリント基板30の表面でのスポット径が、加工の種別や加工対象の形状等に応じて最適に調整され、レーザ加工が効率良くかつ高精度に行われる。
公开日期1994-08-19
申请日期1993-01-29
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/59833]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位新日本製鐵株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
千葉 宏一,大門 正博,山口 哲,等. 半導体レーザユニット及び半導体レーザ加工装置. JP1994232508A. 1994-08-19.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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