Laserdioden mit Kühlsystem
文献类型：专利
| 作者 | BÜCHLER ALEXANDER; KRAUSE VOLKER; TREUSCH HANS-GEORG |
| 发表日期 | 1994-11-17 |
| 专利号 | DE4315581A1 |
| 著作权人 | FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 MUENCHEN DE |
| 国家 | 德国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Laserdioden mit Kühlsystem |
| 英文摘要 | Gegenstand der Erfindung sind Halbleiterlaserdioden mit einem Kühlsystem. Die Vorrichtung beinhaltet eine Laseranordnung mit Kühlsystem in Schichtbauweise, bei welcher eine Schicht ein Substrat ist, das eine oder mehrere Laserdioden beinhaltet und bei welcher wenigstens eine Schicht derart strukturiert ist, daß durch aufeinanderfügen der Schichten abgeschlossene Kanäle entstehen, durch die ein Kühlmedium strömt und bei der das Substrat in unmittelbarem Kontakt zum Kühlmedium steht.$A Eine bevorzugte Ausführungsform besteht darin, die Laserdioden auf einem Chip zu integrieren und diesen rückseitig mit Mikrokanälen zu strukturieren.$A Der Vorteil des erfindungsgemäßen Bauelements besteht darin, daß durch den direkten Kontakt des Kühlmediums mit dem Substrat bzw. dem Laserdiodenchip der thermische Widerstand von der laseraktiven Zone bis zum Kühlmedium stark reduziert ist.$A Durch die Integration des Substrats bzw. des Laserdiodenchips in die Mikrokanalwärmesenke läßt sich die Anzahl der notwendigen Schichten verringern und die Abmessung des Bauelements reduzieren.$A Die Kühlkanäle des Bauelements sind, abhängig von der Materialzusammensetzung, mittels Ätzen, Laserbearbeitung, Stanzen oder Galvanotechnik realisiert. |
| 公开日期 | 1994-11-17 |
| 申请日期 | 1993-05-11 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/59850]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 MUENCHEN DE |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | BÜCHLER ALEXANDER,KRAUSE VOLKER,TREUSCH HANS-GEORG. Laserdioden mit Kühlsystem. DE4315581A1. 1994-11-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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