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Anordnung aus Laserdioden und einem Kühlsystem sowie Verfahren zu deren Herstellung

文献类型:专利

作者BÜCHLER ALEXANDER; KRAUSE VOLKER; TREUSCH HANS-GEORG
发表日期1994-11-17
专利号DE4315580A1
著作权人FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 MUENCHEN DE
国家德国
文献子类发明申请
其他题名Anordnung aus Laserdioden und einem Kühlsystem sowie Verfahren zu deren Herstellung
英文摘要Gegenstand der Erfindung sind Anordnungen aus Halbleiterlaserdioden und einem Kühlsystem sowie Verfahren zu deren Herstellung.$A Insbesondere betrifft die Erfindung ein Bauelement bzw. eine Anordnung aus einer oder mehreren Laserdioden, ausgeführt als Horizontal- oder Vertikalemitter, und einem thermisch angekoppelten Kühlsystem in Schichtbauweise, wobei das Kühlsystem Mikro-, Zu- und Ablaufkanäle sowie gegebenenfalls Verteil- und Sammelkanäle beinhaltet, durch die ein Kühlmedium zirkuliert. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung des Kühlsystems beruht auf der Idee, die Kanäle mittels Laserbearbeitung, Stanzen oder Galvanotechnik zu realisieren. Insbesondere erlaubt die Laserbearbeitung und Galvanotechnik sowohl eine 3dimensionale als auch 2dimensionale Präparation bzw. Anfertigung der einzelnen Kühlkanalschichten.$A Die Erfindung ermöglicht die einfache Realisierung von Mikrokanalwärmesenken aus 2, 3 und mehr Schichten, mit nahezu beliebig gestalteten Mikrokanälen, in einer Vielzahl von Werkstoffen, wie z. B. Kupfer und Diamant.$A Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß das Kühlsystem ein oder mehrere großflächige Gebiete mit Mikrokanälen aufweist, auf denen jeweils eine Vielzahl von Laserdioden oder Submounts mit thermisch angekoppelten Laserdioden angeordnet sind.$A Das Bauelement kann auch aus mehreren Modulen mit Kühlkanälen und Laserdioden bestehen, die vertikal gestapelt oder nebeneinander angeordnet sind.
公开日期1994-11-17
申请日期1993-05-11
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/59851]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 MUENCHEN DE
推荐引用方式
GB/T 7714
BÜCHLER ALEXANDER,KRAUSE VOLKER,TREUSCH HANS-GEORG. Anordnung aus Laserdioden und einem Kühlsystem sowie Verfahren zu deren Herstellung. DE4315580A1. 1994-11-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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