部品及びその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 田嶋 尚之; 君島 進 |
| 发表日期 | 1999-05-21 |
| 专利号 | JP1999134703A |
| 著作权人 | TOSHIBA CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 部品及びその製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】本発明は、例えば光ディスクドライブのLDHユニットなどのマイクロミラーを有する部品及びその製造方法に関する。 【解決手段】本発明は、多重段差構造の形成を、厚さの異なるマスクを用いることにより、1回のエッチングだけで形成するようにしたものである。 |
| 公开日期 | 1999-05-21 |
| 申请日期 | 1997-11-04 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60128]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | TOSHIBA CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田嶋 尚之,君島 進. 部品及びその製造方法. JP1999134703A. 1999-05-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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