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半導体発光装置および半導体基板

文献类型:专利

作者高須賀 祥一; 中西 直樹; 山中 一彦; 中西 秀行; 上田 大助
发表日期2001-12-14
专利号JP2001345508A
著作权人松下電器産業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体発光装置および半導体基板
英文摘要【課題】 発光素子の高速応答性および受光効率を向上させる。 【解決手段】 {100}面から[011]方向に約10°傾斜した面を主面とするシリコン単結晶基板5と、その上部に積層された絶縁層であるシリコン酸化膜層4と、シリコン酸化膜層4の上部に積層された{100}面を主面とするN型シリコン単結晶基板1よりなる。シリコン単結晶基板5まで到達する凹部の底面に半導体レーザ素子10が配置されている。
公开日期2001-12-14
申请日期2000-05-31
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60437]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位松下電器産業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
高須賀 祥一,中西 直樹,山中 一彦,等. 半導体発光装置および半導体基板. JP2001345508A. 2001-12-14.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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