激光曝光装置
文献类型：专利
| 作者 | 本山肇 |
| 发表日期 | 2004-03-10 |
| 专利号 | CN1480799A |
| 著作权人 | 佳能株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 激光曝光装置 |
| 英文摘要 | 一种激光曝光装置，包括：发射第1激光束的第1激光源；发射比第1激光束的波长短的第2激光束的第2激光源；以及将第1激光束和第2激光束引导到感光体的光学装置；从第2激光束到达所述感光体的光路长度比从第1激光束到达所述感光体的光路长度要长。 |
| 公开日期 | 2004-03-10 |
| 申请日期 | 2003-07-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60990]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 佳能株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 本山肇. 激光曝光装置. CN1480799A. 2004-03-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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