半導体装置の検査方法および検査装置
文献类型：专利
| 作者 | 三嶋 満博; 立柳 昌哉; 早水 勲 |
| 发表日期 | 2005-06-23 |
| 专利号 | JP2005167071A |
| 著作权人 | MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体装置の検査方法および検査装置 |
| 英文摘要 | 【課題】 半導体レーザ装置の品種の切替え時に大幅な調整時間が発生することなく、単一の検査装置で複数品種の検査を容易に行えるようにする。 【解決手段】 半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子2を一体化した半導体レーザ装置1に対して配置する検査測定要素部品により、半導体レーザ素子から出射された出射光が受光素子にて受光されることで半導体レーザ装置1の検査を行う半導体装置の検査方法であって、検査測定要素部品を予め設定した距離7に配置したカートリッジ8を用いる。これにより、品種切替に伴なう検査測定要素部品である各測定用構成部品の位置調整は不要となり、品種切替時間の大幅な短縮が可能となる。そのため、単一の検査装置で複数品種の検査を容易に行える。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2005-06-23 |
| 申请日期 | 2003-12-04 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/61043]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 三嶋 満博,立柳 昌哉,早水 勲. 半導体装置の検査方法および検査装置. JP2005167071A. 2005-06-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。