面発光レーザ素子と面発光レーザアレイおよび製造方法とそれを用いた光走査装置と画像形成装置ならびに光送受信モジュールと光通信装置および電気機器
文献类型：专利
| 作者 | 沼田 雅之 |
| 发表日期 | 2012-10-11 |
| 专利号 | JP2012195431A |
| 著作权人 | RICOH CO LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 面発光レーザ素子と面発光レーザアレイおよび製造方法とそれを用いた光走査装置と画像形成装置ならびに光送受信モジュールと光通信装置および電気機器 |
| 英文摘要 | (修正有) 【課題】製造工程における歩留りを向上させ、品質の良い面発光レーザを提供する。 【解決手段】面発光レーザ素子1は、アルミニウムを含まない材料からなる基板1a上に、第1の半導体多層膜(下部半導体DBR1b)と活性層1cおよび第2の半導体多層膜(上部半導体DBR1d)からなるアルミニウムを含む半導体層1eを有しており、この半導体層1eを、基板1aにいたる深さまでエッチングして第1の分離溝1fを形成し、半導体層1eに保護膜1gを形成し、第1の分離溝1fの中心部における基板1aを予め定められた深さまでエッチングして第2の分離溝1iを形成し、この第2の分離溝1iに沿って分離してなる。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2012-10-11 |
| 申请日期 | 2011-03-16 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/61696]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | RICOH CO LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沼田 雅之. 面発光レーザ素子と面発光レーザアレイおよび製造方法とそれを用いた光走査装置と画像形成装置ならびに光送受信モジュールと光通信装置および電気機器. JP2012195431A. 2012-10-11. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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