製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置
文献类型:专利
作者 | 花岡 克成 |
发表日期 | 2013-09-12 |
专利号 | JP2013182965A |
著作权人 | RICOH CO LTD |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
英文摘要 | 【課題】歩留まりを向上させることができる面発光レーザの製造方法を提供する。 【解決手段】 基板上に複数の半導体層を積層する工程、発光部に対応して四角錐台状のメサを形成する工程、基板に直交する方向(z軸方向)からみたとき、正方形部分113aと長方形部分113bとからなるT字形状であり、正方形部分113aがメサ上面の一部を覆うとともに、長方形部分113bがメサにおける互いに隣接する2つの稜線を覆うp側電極113を形成する工程などを経て製造される。 【選択図】図23 |
公开日期 | 2013-09-12 |
申请日期 | 2012-03-01 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/61750] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | RICOH CO LTD |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 花岡 克成. 製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置. JP2013182965A. 2013-09-12. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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