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製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置

文献类型:专利

作者花岡 克成
发表日期2013-09-12
专利号JP2013182965A
著作权人RICOH CO LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置
英文摘要【課題】歩留まりを向上させることができる面発光レーザの製造方法を提供する。 【解決手段】 基板上に複数の半導体層を積層する工程、発光部に対応して四角錐台状のメサを形成する工程、基板に直交する方向(z軸方向)からみたとき、正方形部分113aと長方形部分113bとからなるT字形状であり、正方形部分113aがメサ上面の一部を覆うとともに、長方形部分113bがメサにおける互いに隣接する2つの稜線を覆うp側電極113を形成する工程などを経て製造される。 【選択図】図23
公开日期2013-09-12
申请日期2012-03-01
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/61750]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位RICOH CO LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
花岡 克成. 製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置. JP2013182965A. 2013-09-12.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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