面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、及び面発光レーザ素子の製造方法
文献类型:专利
作者 | 原坂 和宏; 軸谷 直人 |
发表日期 | 2014-05-22 |
专利号 | JP2014096515A |
著作权人 | RICOH CO LTD |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、及び面発光レーザ素子の製造方法 |
英文摘要 | (修正有) 【課題】活性層に異方的な応力を付与でき、かつ製造が容易な面発光レーザ素子を提供する。 【解決手段】面発光レーザ素子100は、基板101と、該基板101上に積層された第1反射鏡103と、該第1反射鏡103上に積層された活性層105と、該活性層105上に積層され、Alを組成に含む選択酸化層108が内部に配置された第2反射鏡107とを含む積層体が、少なくとも選択酸化層108の活性層105側の面に達するまでエッチングされて形成されたメサを備え、メサの周辺部には、酸化処理が施されている。そして、第2反射鏡107は、交互に積層された、Alの組成が互いに異なる高屈折率層及び低屈折率層を含み、該低屈折率層の周辺部が酸化されてなる酸化物が部分的に除去されている。 【選択図】図5 |
公开日期 | 2014-05-22 |
申请日期 | 2012-11-12 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/61803] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | RICOH CO LTD |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 原坂 和宏,軸谷 直人. 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、及び面発光レーザ素子の製造方法. JP2014096515A. 2014-05-22. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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