一种皮秒激光清洗装置
文献类型:专利
作者 | 高鹏; 朱明珠; 阳章雄; 叶艾; 宋业英 |
发表日期 | 2018-04-13 |
专利号 | CN107900032A |
著作权人 | 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所) |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种皮秒激光清洗装置 |
英文摘要 | 本发明公开了一种皮秒激光清洗装置,包括控制系统以及水冷系统、腔倒空激光器系统、光学传输系统和凹面镜扫描系统,所述的水冷系统、腔倒空激光器系统和凹面镜扫描系统分别与控制系统连接,腔倒空激光器系统产生的高能量脉冲激光通过光学传输系统传送至凹面镜扫描系统,水冷系统通过冷却水的循环,带走腔倒空激光器系统产生的热量,控制系统对水冷系统的水温和凹面镜扫描系统的扫描线宽、扫描方向及扫描频率进行控制;所述的腔倒空激光器系统包括半导体泵浦激光器、耦合透镜、输入镜、增益介质、薄膜偏振片、普克尔盒以及半导体可饱和吸收镜;本发明整体结构简单,体积小,性能稳定,适用范围广、生产维护容易,具有广阔的应用前景。 |
公开日期 | 2018-04-13 |
申请日期 | 2017-11-20 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62330] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 高鹏,朱明珠,阳章雄,等. 一种皮秒激光清洗装置. CN107900032A. 2018-04-13. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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