面発光レーザ評価方法
文献类型：专利
| 作者 | シング ビラハム パル |
| 发表日期 | 2000-01-14 |
| 专利号 | JP2000012969A |
| 著作权人 | ADVANTEST CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 面発光レーザ評価方法 |
| 英文摘要 | 【課題】ウェーハ上で、SELの特性を可能な限り短時間で評価することのできる方法を提供する。 【解決手段】 SEL5の各SEL素子は、共振器を構成する2つの分布反射型ミラー層とこれら分布反射型ミラー層間に設けられる活性層とがウェーハ上に積層された状態にある。チタン·サファイヤレーザ1からの励起光(800nm)でSEL素子に照射して励起し、該励起によって生じた誘導放出による光を光学フィルタ6を介して光パワーメータ8およびスペクトラムアナライザー9で測定する。そして、これらの測定結果からSEL素子のレイジング波長を求める。 |
| 公开日期 | 2000-01-14 |
| 申请日期 | 1998-06-19 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62652]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | ADVANTEST CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | シング ビラハム パル. 面発光レーザ評価方法. JP2000012969A. 2000-01-14. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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