半導体アレイ検査装置
文献类型：专利
| 作者 | ホール ベンジャミン エル; フー マーティン; ザー チュン-エン; ホワイト マイク ジェイ |
| 发表日期 | 2007-05-31 |
| 专利号 | JP2007514165A |
| 著作权人 | コーニング·インコーポレーテッド |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体アレイ検査装置 |
| 英文摘要 | アレイ検査装置(10)は、角度位置に応じて個々のチップ(111)の光学遠視野測定を偏光分解することに基づいて、半導体デバイスのアレイ(11)の個々のチップ(111)を特性化する。TMおよびTEの検出器(41a-41bおよび42a-42b)の2つのペアまたは90度で置き換え可能な1つのペアは、垂直アークの経路または水平アークの経路で移動するかまたはアレイの選択されたデバイスの固定位置の周囲に固定されて遠視野をサンプリングする。 |
| 公开日期 | 2007-05-31 |
| 申请日期 | 2004-11-29 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62681]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | コーニング·インコーポレーテッド |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ホール ベンジャミン エル,フー マーティン,ザー チュン-エン,等. 半導体アレイ検査装置. JP2007514165A. 2007-05-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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