原子発振器の製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 牧 義之; 西田 哲朗 |
| 发表日期 | 2011-06-16 |
| 专利号 | JP2011119633A |
| 著作权人 | SEIKO EPSON CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 原子発振器の製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】製造工程を短縮してユニットコストの低減を図ることができる原子発振器の製造 方法を提供する。 【解決手段】この原子発振器50は、半導体基板上に形成された受光部を有する受光素子 (PD)6と、受光素子6上に積層され、受光部の上部に開口部8aを有する空洞8bが 形成されたセル層8と、空洞8bに封入された気体状のアルカリ金属原子5と、開口部8 aを閉止するカバーガラス(透明部材)4と、カバーガラス4を介してアルカリ金属原子 5に共鳴光を出射する発光素子(VCSEL)1と、を備えて構成されている。尚、受光 素子(PD)6には電極7が備えられ、カバーガラス4上には発光素子1用の電極3が形 成されている。そして発光素子1のバンプ2を介して発光素子1用の電極3と接続される 。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2011-06-16 |
| 申请日期 | 2010-03-15 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63372]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SEIKO EPSON CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 牧 義之,西田 哲朗. 原子発振器の製造方法. JP2011119633A. 2011-06-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。