尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 袁宁一; 房香; 丁建宁; 陈梦蛟; 邱建华 |
| 发表日期 | 2013-09-04 |
| 专利号 | CN103280498A |
| 著作权人 | 常州大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种异质结紫外激光二极管制备技术，特指结合镀膜技术和飞秒激光技术，制备尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结。本发明先利用热氧化在镍片上形成NiO层，然后利用原子层沉积方法制备ZnO层，再在n-型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡(ITO)透明上电极，最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ITO层的镍片上形成尖锥形阵列，即形成尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结，在镍片底部和ITO上加上电压，即可实现电致发光。 |
| 公开日期 | 2013-09-04 |
| 申请日期 | 2013-04-22 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63410]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 常州大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宁一,房香,丁建宁,等. 尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法. CN103280498A. 2013-09-04. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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