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氮化物基激光二极管和制造氮化物基激光二极管的方法

文献类型:专利

作者C·斯基尔比谢夫斯基; S·波罗夫斯基; I·格热戈日; P·佩尔林; M·莱什琴斯基; M·西卡什; A·费杜内维什-日穆达; P·维希涅夫斯基; T·舒什; M·博科夫斯基
发表日期2007-09-12
专利号CN101036272A
著作权人波兰科学院高压物理研究所
国家中国
文献子类发明申请
其他题名氮化物基激光二极管和制造氮化物基激光二极管的方法
英文摘要包含结晶衬底(1)的激光二极管,其中沉积随后的n-型层的组、光学活性层(5)的组和p-型层的组。n-型层的组至少包含缓冲层(2)、底部n-型覆盖层(3)和n-型底部波导层。p-型层的组至少包含含有电子阻挡层的p-型上部波导、上部p-型覆盖层(7)和p-型接触层(8)。所述电子阻挡层包含掺杂有镁的Inx,AlyGa1-x-y,N合金,其中1≥x>0,001 a 1≥y≥0。制造本发明的方法是基于随后的n-型层(2,3,4)的组、光学活性层(5)的组和p-型层(6,7,8)的组的外延沉积,其中p-型波导层(6)和p-型接触层(7)在铟存在下以等离子体辅助的分子束外延方法沉积。
公开日期2007-09-12
申请日期2005-08-09
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63511]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位波兰科学院高压物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
C·斯基尔比谢夫斯基,S·波罗夫斯基,I·格热戈日,等. 氮化物基激光二极管和制造氮化物基激光二极管的方法. CN101036272A. 2007-09-12.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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