一种位移传感器及其使用、制作方法和一种干涉仪
文献类型：专利
| 作者 | 孙天玉; 张宝顺 |
| 发表日期 | 2017-02-15 |
| 专利号 | CN106403821A |
| 著作权人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种位移传感器及其使用、制作方法和一种干涉仪 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种位移传感器及其使用、制作方法和一种干涉仪，其中，所述位移传感器包括：半导体激光器，用于产生激光光束；衍射光栅，用于将所述激光光束中的一部分光直接衍射再反射，产生第一衍射光；同时用于将所述激光光束中穿过自身、到达待测物体，并经待测物体反射后再次穿过自身的一部分光衍射，形成第二衍射光；探测器，位于待测第一衍射光和第二衍射光中预设相同级次的衍射光交汇处，用于测量第一衍射光与第二衍射光中预设相同级次的衍射光之间的干涉强度信息的变化；信息处理器，与所述探测器相连，用于读取干涉强度信号，根据探测器探测的干涉强度变化信息，反演出待测物体的位移信息；所述衍射光栅位于半导体激光器与待测物体之间。 |
| 公开日期 | 2017-02-15 |
| 申请日期 | 2015-07-27 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63521]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙天玉,张宝顺. 一种位移传感器及其使用、制作方法和一种干涉仪. CN106403821A. 2017-02-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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