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面発光型半導体レーザ素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者櫻井 淳; 中山 秀生; 乙間 広己; 宮本 育昌
发表日期1999-12-10
专利号JP1999340565A
著作权人富士ゼロックス株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名面発光型半導体レーザ素子及びその製造方法
英文摘要【課題】 寿命が長く、光出力特性が均一な面発光型半導体レーザ素子を提供する。 【解決手段】 n型GaAs基板12の第1主面上に形成された第1導電型の下部DBR16上に形成された、活性領域24、最下層にAlAs層32を含む第2導電型の上部DBR26、及びp型のGaAsコンタクト層28を含むメサ構造の上面の縁部及び側面を無機絶縁膜であるシリコン酸窒化膜34で覆う。
公开日期1999-12-10
申请日期1998-05-29
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63962]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士ゼロックス株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
櫻井 淳,中山 秀生,乙間 広己,等. 面発光型半導体レーザ素子及びその製造方法. JP1999340565A. 1999-12-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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