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ハイブリッド導波形光回路とその製造方法

文献类型:专利

作者石橋 重喜; 柳沢 雅弘; 井上 靖之; 山田 泰文; 姫野 明
发表日期1998-11-17
专利号JP1998308555A
著作权人日本電信電話株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名ハイブリッド導波形光回路とその製造方法
英文摘要【課題】 低コストで防湿性と信頼性に優れた封止を可能とする構造を備えたハイブリッド導波形光回路とその製造方法を提供する。 【解決手段】 光素子(LD)25等の長期信頼性に劣る素材が搭載される切り欠き部23を囲むように上部クラッド層22c内部に表面平坦化層31を設け、この表面平坦化層31によって切り欠き部23周囲の上部クラッド層22c表面を平らにする。この平らになった領域に固定剤を介して封止蓋を固定し、切り欠き部23を局所的に気密封止する。この際、封止蓋は平担なクラッド表面に固定され、封止蓋とクラッド表面との間隙を極めて薄く設定できるので、固定剤の量を最小限にでき、例えば固定剤として樹脂を用いた場合にも優れた防湿効果を発揮でき、従来の半田やYAG溶接によってパッケージ全体を気密封止していた光モジュールと比べて、封止にかかるコストが格段に安くなり、低価格なモジュールを実現できる。
公开日期1998-11-17
申请日期1997-05-01
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64107]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
石橋 重喜,柳沢 雅弘,井上 靖之,等. ハイブリッド導波形光回路とその製造方法. JP1998308555A. 1998-11-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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