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半導体レーザアレイとその製造方法

文献类型:专利

作者岩井 則広; 松本 成人; 菅田 純雄
发表日期1993-04-23
专利号JP1993102616A
著作权人FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザアレイとその製造方法
英文摘要【目的】 MBE法による一回の連続した結晶成長により製造可能な半導体レーザアレイとその製造方法を提供する。 【構成】 複数のメサ形状を有する半導体基板11上に下部クラッド層12、活性層13、上部クラッド層14を順次積層した半導体レーザアレイにおいて、上部クラッド層14または下部クラッド層12は両性不純物がドーピングされた3-5族化合物半導体層からなり、前記ドーピングされたクラッド層の電気抵抗がメサ側面においてメサ上面よりも高くなるようにする。
公开日期1993-04-23
申请日期1991-10-09
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64164]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
推荐引用方式
GB/T 7714
岩井 則広,松本 成人,菅田 純雄. 半導体レーザアレイとその製造方法. JP1993102616A. 1993-04-23.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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