面型発光素子およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 川上 剛司; 門田 好晃; 小濱 剛孝 |
| 发表日期 | 1993-09-10 |
| 专利号 | JP1993235473A |
| 著作权人 | NIPPON TELEGR & TELEPH CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 面型発光素子およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】発光領域が微細で、レーザ発振のしきい値が低く、かつ低抵抗で高性能の面型発光素子や面型半導体レーザおよびその製造方法を提供する。 【構成】発光層を含むキャビティ領域と上部ミラーとの整合性を容易に、かつ完全にするために上部ミラーには半導体多層膜ミラーを使用し、下部ミラーからキャビティ領域および上部ミラーまでを、1回のエピタキシャル成長により連続して形成する。さらに、イオン注入の電圧を小さくして活性層へのダメージを極小さく抑え、かつ微細構造の発光領域および光学的ガイド構造を容易に形成するため、半導体多層膜からなる上部ミラーをメサエッチングして活性層までの距離を短くする。また、イオン注入および電極形成の際には、メサ部をイオン注入のマスクとしてセルフアライン的に行う。 |
| 公开日期 | 1993-09-10 |
| 申请日期 | 1992-02-26 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64186]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | NIPPON TELEGR & TELEPH CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 川上 剛司,門田 好晃,小濱 剛孝. 面型発光素子およびその製造方法. JP1993235473A. 1993-09-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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