変調器付きレーザの形成方法
文献类型：专利
| 作者 | 加藤 幸雄; 山田 光志 |
| 发表日期 | 1998-01-27 |
| 专利号 | JP1998027936A |
| 著作权人 | OKI ELECTRIC IND CO LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 変調器付きレーザの形成方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 変調器付きレーザアレイを簡便に作製できる方法を提供する。 【解決手段】 基板12の上面にグレーティング区域14a を設ける工程と、予定させる導波路方向に沿って第1区域28、グレーティング区域14a 及び第2区域32の順で配列しかつ導波路方向と直交する方向に沿う幅と等幅でグレーティング区域とそれぞれ連続する当該第1及び第2区域の、導波路方向と平行な互いに対向する2辺16a,18b,20a,22b を画成する第1、第2、第3及び第4マスク16182022 を基板の上面に設ける工程と、第1、第2、第3及び第4マスクが設けられ基板の上面側に、有機金属気相成長(MOVPE)法を用いて多重量子井戸層(MQW層)34を設けて、第1区域に活性領域35、グレーティング区域に分布ブラッグ反射(DBR)領域37及び第2区域に変調領域39をそれぞれ形成する工程とを含む。 |
| 公开日期 | 1998-01-27 |
| 申请日期 | 1996-07-10 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64225]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | OKI ELECTRIC IND CO LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 加藤 幸雄,山田 光志. 変調器付きレーザの形成方法. JP1998027936A. 1998-01-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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