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Verfahren zum Umgehen mit Belastungen und zum Steuern von Verunreinigungen in III-V-Nitrid-Halbleiterfilmen und optoelektronischen Bauelementen

文献类型:专利

作者CHEN CHANGHUA; GOETZ WERNER; KERN R. SCOTT; KUO CHIHPING
发表日期1999-12-09
专利号DE19905516A1
著作权人AGILENT TECHNOLOGIES INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE)
国家德国
文献子类发明申请
其他题名Verfahren zum Umgehen mit Belastungen und zum Steuern von Verunreinigungen in III-V-Nitrid-Halbleiterfilmen und optoelektronischen Bauelementen
英文摘要Bei der vorliegenden Erfindung wird eine Grenzflächenschicht zu einer lichtemittierenden Diodenstruktur oder einer Laserdiodenstruktur hinzugefügt, um die Rolle des Umgehens mit Belastungen und des Getterns von Verunreinigungen auszuführen. Eine Schicht aus GaN oder Al¶x¶In¶y¶Ga¶1-x-y¶N (0 x 1, 0 y 1), die mit Mg, Zn, Cd dotiert ist, kann für diese Schicht verwendet werden. Wenn alternativ Al¶x¶In¶y¶Ga¶1-x-y¶N (x > 0) verwendet wird, kann die Schicht undotiert sein. Die Grenzflächenschicht wird direkt auf der Pufferschicht vor dem Wachstum der n-Typ-(GaN:Si-)Schicht und dem Rest der Bauelementestruktur aufgebracht. Die Dicke der Grenzflächenschicht variiert von 0,01 bis 10,0 mum.
公开日期1999-12-09
申请日期1999-02-10
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64246]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位AGILENT TECHNOLOGIES INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE)
推荐引用方式
GB/T 7714
CHEN CHANGHUA,GOETZ WERNER,KERN R. SCOTT,et al. Verfahren zum Umgehen mit Belastungen und zum Steuern von Verunreinigungen in III-V-Nitrid-Halbleiterfilmen und optoelektronischen Bauelementen. DE19905516A1. 1999-12-09.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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