半導体レーザ装置とその製造方法、及び半導体レーザ素子の製造方法
文献类型:专利
作者 | 杉浦 勝己 |
发表日期 | 2009-12-10 |
专利号 | JP2009290122A |
著作权人 | パナソニック株式会社 |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 半導体レーザ装置とその製造方法、及び半導体レーザ素子の製造方法 |
英文摘要 | (修正有) 【課題】歩留まりが良好で、特性の劣化が抑制された半導体レーザ装置とその製造方法、及び半導体レーザ素子の製造方法を提供する。 【解決手段】半導体レーザ装置は、n型基板6と、n型基板6上に形成されたn型クラッド層7と、n型クラッド層7上に形成された活性層9と、活性層9上に形成され、活性層9の上面に達する開口部を有するn型電流ブロック層11と、n型電流ブロック層11上に形成され、開口部を埋めるp型クラッド層12とを備えている。平面的に見て開口部を挟んで設けられ、半導体レーザ素子の共振器端面となる端面領域において、p型クラッド層12を貫通し、底面が活性層9の上面よりも高い位置にあるへき開ガイド溝3が形成されている。 【選択図】図1 |
公开日期 | 2009-12-10 |
申请日期 | 2008-05-30 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64294] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | パナソニック株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杉浦 勝己. 半導体レーザ装置とその製造方法、及び半導体レーザ素子の製造方法. JP2009290122A. 2009-12-10. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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