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GaInNAsを有する半導体素子の作製方法、該作製方法を用いて作製した半導体素子、および該半導体素子を用いた光通信システム

文献类型:专利

作者近藤 正彦; 北谷 健; 中原 宏治
发表日期1999-03-30
专利号JP1999087848A
著作权人株式会社日立製作所
国家日本
文献子类发明申请
其他题名GaInNAsを有する半導体素子の作製方法、該作製方法を用いて作製した半導体素子、および該半導体素子を用いた光通信システム
英文摘要【課題】 良好な結晶性を有するGaInNAsを用いた半導体素子の作製方法、および該作製方法を用いて作製した半導体素子、ならびに該半導体素子を用いた光通信システムを提供すること。 【解決手段】 基板結晶上にGaInNAsを350℃から490℃の温度範囲で結晶成長させて半導体レーザなどの半導体素子を作製する。また、この半導体素子を用いて光通信システムを作製する。なお、結晶成長方法としては、分子線エピタキシー(MBE)法または化学線エピタキシー(CBE)法が好ましい。図は半導体レーザの例であり、1は基板、2はバッファ層、3と5はクラッド層、4は障壁層10および12とGaInNAs井戸層11からなる活性層、6はキャップ層、7は電流狭窄層、8と9は電極を示している。
公开日期1999-03-30
申请日期1997-09-02
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64607]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社日立製作所
推荐引用方式
GB/T 7714
近藤 正彦,北谷 健,中原 宏治. GaInNAsを有する半導体素子の作製方法、該作製方法を用いて作製した半導体素子、および該半導体素子を用いた光通信システム. JP1999087848A. 1999-03-30.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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