光導波路モジュール
文献类型：专利
| 作者 | 大久保 美和; 荒木田 孝博; 中田 英彦; 成瀬 晃和; 山田 和義; 江口 百子 |
| 发表日期 | 2006-07-13 |
| 专利号 | JP2006184755A |
| 著作权人 | SONY CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光導波路モジュール |
| 英文摘要 | 【課題】光導波路に幅の狭い溝部をフォトリソグラフィプロセスで形成できるようした光導波路モジュールを提供する。 【解決手段】光導波路2は導波路基板3に支持され、波長選択フィルタ7が挿入される溝部6を備える。溝部6は、コア4を横切る位置に形成される保持部6aと、保持部6aの両端部に形成される幅広部6bを備える。幅広部6bは、保持部6aより広い幅で構成され、フォトリソグラフィプロセスで溝部6を形成する際に、現像液の回り込みを良くして、確実に溝部6が形成されるようになっている。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2006-07-13 |
| 申请日期 | 2004-12-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64639]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SONY CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 大久保 美和,荒木田 孝博,中田 英彦,等. 光導波路モジュール. JP2006184755A. 2006-07-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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