薄膜光回路素子およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 金子 丈夫; 森 克己 |
| 发表日期 | 1999-09-24 |
| 专利号 | JP1999261161A |
| 著作权人 | SEIKO EPSON CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 薄膜光回路素子およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 寿命の長い薄膜光回路素子を提供する。 【解決手段】 導波路薄膜(102)より低い屈折率を備え、かつ、溝(110)が設けられた基板(100)、基板(100)の溝(110)に設けられた結晶核(121)から結晶成長したガリウム系化合物で形成された導波路薄膜(102)を備える。溝(110)から結晶成長が行うことで、無転移の導波路薄膜(102)を提供可能であり、寿命を延ばすことができる。 |
| 公开日期 | 1999-09-24 |
| 申请日期 | 1998-03-09 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64743]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SEIKO EPSON CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金子 丈夫,森 克己. 薄膜光回路素子およびその製造方法. JP1999261161A. 1999-09-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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