位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置
文献类型:专利
作者 | 王涛; 赵建科![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2016-03-23 |
专利号 | CN105423917A |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置 |
英文摘要 | 本发明提供一种位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置,标定装置包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。该方法很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直,避免了因坐标系旋转而引入的测试误差,提高了PSD定位误差的测试精度。 |
公开日期 | 2016-03-23 |
申请日期 | 2015-12-01 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64947] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王涛,赵建科,田留德,等. 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置. CN105423917A. 2016-03-23. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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