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位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置

文献类型:专利

作者王涛; 赵建科; 田留德; 周艳; 潘亮; 陈琛; 段亚轩; 赵怀学
发表日期2016-03-23
专利号CN105423917A
著作权人中国科学院西安光学精密机械研究所
国家中国
文献子类发明申请
其他题名位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置
英文摘要本发明提供一种位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置,标定装置包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。该方法很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直,避免了因坐标系旋转而引入的测试误差,提高了PSD定位误差的测试精度。
公开日期2016-03-23
申请日期2015-12-01
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64947]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王涛,赵建科,田留德,等. 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置. CN105423917A. 2016-03-23.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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