面発光レーザ素子及びその製造方法
文献类型:专利
作者 | 田邉 衣加; 池永 賀彦; 岩井 則広; 影山 健生; 平岩 浩二; 吉川 弘和 |
发表日期 | 2007-06-07 |
专利号 | JP2007142375A |
著作权人 | FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 面発光レーザ素子及びその製造方法 |
英文摘要 | 【課題】酸化層狭窄型のVCSEL素子における酸化狭窄層の電流注入領域の形状を、静電破壊が生じ難い良好な円形状にする。 【解決手段】酸化狭窄層となるAlAs層を積層構造中に含むメサポスト51の外周形状を、AlAs層の酸化速度が速い結晶面に対応する外周部分で突出する形状にする。これにより、酸化狭窄層内の電流注入領域52の形状が良好な円形状となる。メサポスト51の平面形状として、1つの大円とその円弧上に中心を有する小円の突出部とから成る形状、略正方形状などを採用する。 【選択図】図1 |
公开日期 | 2007-06-07 |
申请日期 | 2006-10-12 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65132] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 田邉 衣加,池永 賀彦,岩井 則広,等. 面発光レーザ素子及びその製造方法. JP2007142375A. 2007-06-07. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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